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产品技术

XY-STAGE
  
薄型高精度平台。速度稳定性(10mm/sec时0.2%以下)的NVA-AM型和高推力密度的NVA-BM型组合和紧凑型精密平台。
还有,配合机械的精度,更深层地在电气的精度上加力度。通过自社开发的IPU模块分节能达到o.o2μm。
X轴为NVA-BM系列,它比向来的直线电机,空间占有率只达到70%,且产生高推力。结构采用两个滑块模型。Y轴为NVA-AM系列,低重心、稳定性强。目前为7个标准型号。
 
选型表

 

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